Inline Magnetron Sputtering system Itinatampok na Larawan

Inline na Magnetron Sputtering system

Maikling Paglalarawan:

Ang Inline Magnetron Sputtering system ay isang uri ng vacuum thin film deposition equipment na gumagana para sa iba't ibang layunin.Ang pinakakaraniwang mga application ng aming sputtering line kabilang ang:

Paggawa ng salamin ng aluminyo

ITO glass coating
Anti-reflective glass
Mga pandekorasyon na patong para sa hindi kinakalawang na asero at salamin

Ang coating system na ito ay angkop para sa mataas na klase ng vacuum coating application.Gumagawa ito ng matatag na pagganap sa trabaho upang mapabuti ang kalidad ng mga vacuum coating film.

Magpadala ng email sa amin

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Ang inline na magnetron sputtering coating machine ay higit sa lahat DC (o MF) magnetron sputtering coating ay maaaring iakma sa isang malawak na hanay ng mga target, tulad ng: tanso, titanium, chromium, hindi kinakalawang na asero, nickel at iba pang mga metal na materyales na maaaring pinahiran gamit ang isang proseso ng sputtering maaaring mapabuti ang film adhesion, reproducibility, density, pagkakapareho at iba pang mga katangian.

a.Ang mga pangunahing katangian at mga parameter
b.Ang istraktura ng pahalang na linya ay maaaring maisakatuparan nang sabay-sabay na pinahiran sa isang gilid
c.kahusayan sa produksyon, ang pinakamabilis na bilis na hanggang 1 min / beat
d.modular na disenyo, madaling pagpapanatili
e.proseso ng kalupkop kapanahunan, mataas na ani
f.Ang DC magnetron sputtering cathodes ay maaaring mag-iba depende sa mga kinakailangan ng customer
g.Ang vacuum system ay binubuo ng isang mechanical pump, Roots pump, diffusion pump (molecular pump) Komposisyon
h.Maaaring mag-iba ang laki ng katawan ng linya depende sa mga kinakailangan ng customer

1) Ang mga materyales sa katawan ng vacuum chamber na ginamit SUS304, buli ng vacuum chamber wall treatment, ang panlabas na pader na spray polishing beads processing.
2) Gamit ang isang independiyenteng gate valve sa pagitan ng vacuum chamber - flapper valve na magkahiwalay, ay maaaring epektibong putulin, patatagin ang proseso ng gas.Sa kasalukuyan, pinagtibay ng aming kumpanya ang disenyo ng flapper valve, mas mahusay itong seal, mas matibay kaysa sa kasalukuyang domestic common flap valve.
3) Ang paghahatid ay gumagamit ng magnetic guide, protektahan ang katatagan ng drive.Para sa bawat bilis ng buong linya ng produksyon gamit ang VVVF motor drive, ang bilis ng pagpapatakbo ay maaaring iakma.
4) Electric Control System: Touch Screen at PLC awtomatikong kontrol, man-machine dialogue para makamit ang data display system, operating parameters at control technology
1) Ultimate vacuum pressure: 6 × 1 0E-4 Pa
2) ang average na ikot ng produksyon: ayon sa produkto na tinutukoy
3) Ang substrate holder Sukat: maaaring ipasadya ayon sa mga kinakailangan ng
4) Pagkakapareho ng pelikula: ± 3% ang advanced na teknolohiya sa mobile field ay lubos na nagpahusay sa target na paggamit
Ang naka-segment na disenyo ng heater ay nakakatulong sa pag-optimize ng proseso.