;
-Isa/Dalawang Pintuan
Ang frame at chamber ay gawa sa carbon stainless steel.
Ang bawat pinto ay nagbibigay ng window ng inspeksyon para sa visual na kontrol ng proseso.Ang mga dingding ng pinto ay nagbibigay ng isang hindi kinakalawang na asero na liner na madaling matanggal para sa pagpapanatili.
-Customized na Vacuum Chamber
Ang silid ay nagbibigay ng panloob na hindi kinakalawang na asero na mga liner na madaling matanggal para sa paglilinis.
Ang mga bomba ay nakatayo sa likurang bahagi nito.
Ang silid ay may isang serye ng maliit na flange para sa layunin ng pagsukat.
-Mataas na vacuum pumping system
Diffusion pump+Booster pump+Mechanical pump
-Vacuum pagsukat at kontrol
Gamit ang metal Pirani gauge+metal Ionization gauge
-Fixtures gumagalaw na sistema
-PLC Control unit
-Aluminium evaporation system na may mataas na power transpormer
-Bakal na bakal
Ang istraktura ay makatwiran
Ang layer ng pelikula ay pare-pareho
Kalidad ng pagbuo ng pelikula
Mataas na bilis ng pumping, maikling working cycle at mataas na kahusayan sa produksyon
Ang operasyon ay maginhawa
Mababang pagkonsumo ng enerhiya at matatag na pagganap
Numero ng Modelo | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Dalawang pinto o Two chambers model ang available | |
Dimensyon ng vacuum chamber(diameter*taas) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Materyal ng vacuum chamber | Carbon steel, SUS304 o SUS316L | ||||||
Teknolohiya ng pagtatrabaho | vacuum resistance evaporation na may tungsten at aluminum filament, high power evaporation transformer | ||||||
Sistema ng pumping | Diffusion pump+mechanical pump, booster pump | ||||||
Oras ng pumping | Mula sa kapaligiran hanggang 5.0*10-2Pa wala pang 8 minuto | ||||||
Limitasyon ng vacuum | 5.0*10-4 Pa | ||||||
Temperatura ng pagtatrabaho | Temperatura ng silid | ||||||
Working mode | Awtomatiko o Manu-manong mode, sa pamamagitan ng 10.4 pulgadang PLC touches screen | ||||||
Kabuuang kapangyarihan | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Bakas ng paa | 2*2 metro | 2*3 metro | 3*3 metro | 3*3 metro | 3*4 metro | 4*5 metro | 5*6 metro |
Ang mga unit na ito ay maaari mong custom made | 1. Sukat ng vacuum chamber 2. Mga pagsasaayos ng mga bomba | ||||||
Opsyonal na mga instrumento | 1. Leakage detector 3. Arc ion deposition system 4. Magntron sputtering system |